دانلود مقاله لیتوگرافی ، هنر ساختن در ابعاد کوچک ۷ صفحه مهندسی مواد و متالورژی لیتوگرافی، هنر ساختن در ابعاد کوچک خلاصه مقاله • توسعه نانوفناوری بستگی به توان محققان در تولید کارآمد ساختارهایی با ابعاد کمتر از 100 نانومتر (کمتر از یک هزارم قطر موی انسان) دارد. • فوتولیتوگرافی، فناوری‌ای است که هم‌اکنون برای ساخت مدار روی میکروچیپ‌ها به کار گرفته می‌شود. کاربرد این فناوری را می‌توان به تولید نانوساختارها تعمیم داد، ولی تغییرات لازم بسیار گران و ...
دانلود تحقیق حکاکی ۱۳ صفحه مهندسی مواد و متالورژی معمولاً بوسیله رقیق کردن یا Buffer کردن HF انجام می شود. حکاکی های PSG 10 بار سریع تر از اکسید رشد یافته حرارتی می باشد. حکاکی Anisotropic در مورد Si با استفاده از حکاکی پلاسما به کمک یون در ترکیبی از C2 F6 و CH3F انجام می شود. قابلیت انتخاب روی Si خوب است، امّا روی Si3N4 خوب نیست . حکاکی لایه نازک Si3N4 حکاکی کننده تر در دمای H3PO4,140 – 200OC می باشد. SiO2 حاصل از لایه نشانی ...